Funk, K. Entfurt, Herstellung und Charakterisierung eines mikromechanischen Sensors zur Messung von Drehgeschwindigkeiten,
TU-Munchen, 1998, 153 s., 21 sm.
Funk, K. .
Entfurt, Herstellung und Charakterisierung eines mikromechanischen Sensors zur Messung von Drehgeschwindigkeiten.
Munchen: TU-Munchen, 1998, 153 s., 21 sm.
Funk, K. (1998)
Entfurt, Herstellung und Charakterisierung eines mikromechanischen Sensors zur Messung von Drehgeschwindigkeiten,
Munchen: TU-Munchen, 153 s., 21 sm
Funk, K.
(1998).
Entfurt, Herstellung und Charakterisierung eines mikromechanischen Sensors zur Messung von Drehgeschwindigkeiten. Dissertation. Munchen: TU-Munchen, 153 s., 21 sm.